 | • レポートコード：MRC-SE-45973 • 発行年月：2025年05月 • レポート形態：英文PDF • 納品方法：Eメール（納期：2～3日） • 産業分類：電子＆半導体 |
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※下記記載のレポート概要・目次・セグメント項目・企業名などは最新情報ではない可能性がありますので、ご購入の前にサンプルを依頼してご確認ください。
レポート概要
乾式エッチング装置は、半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たす機器です。この装置は、基板上に薄膜を形成した後、その膜を選択的に除去するために使用されます。乾式エッチングは、化学反応やプラズマを利用して材料を削り取る手法であり、従来の湿式エッチングに比べて高い精度と選択性を持っています。
乾式エッチングの特徴として、まず、エッチングプロセスが非常に精密である点が挙げられます。プラズマを用いることで、微細なパターンを形成することが可能で、特にナノスケールの加工が求められる半導体デバイスにおいて不可欠な技術です。また、乾式エッチングは、エッチングガスの選択によって特定の材料に対して高い選択性を持つことが特徴です。これにより、望まない部分を傷めることなく、所定の領域だけを効果的に処理することができます。
乾式エッチングには主に二つの種類があります。一つは反応性イオンエッチング（RIE）で、これはプラズマ中のイオンを基板に向けて加速することで、材料を削り取る方式です。もう一つは深さ方向にエッチングを行うことができる深層エッチング（DRIE）で、主にMEMS（微小電気機械システム）や3D構造の製造に用いられます。これらの方式は、半導体や材料科学の分野での応用において、さまざまな利点を提供します。
用途としては、乾式エッチングは半導体デバイスの製造において非常に多岐にわたります。トランジスタや集積回路、光デバイス、センサーなどの製造プロセスに不可欠です。特に、微細加工や多層構造の形成が求められる現代の半導体技術においては、乾式エッチング装置の重要性はますます高まっています。
関連技術としては、プラズマ技術や材料科学、ナノテクノロジーが挙げられます。プラズマの生成と制御に関する技術は、乾式エッチングの性能を向上させるために欠かせません。また、新しいエッチングガスや材料の開発も、エッチングプロセスの選択性や効率を向上させる要因となっています。さらに、計測技術やプロセス制御技術も重要であり、これらが組み合わさることで、より高精度なエッチングが実現されます。
このように、乾式エッチング装置は半導体製造において欠かせない存在であり、その技術は日々進化しています。高精度で効率的なエッチングプロセスの実現は、今後の電子デバイスの性能向上に大きく寄与することでしょう。
当資料（Global Dry Etching Equipment Market）は世界の乾式エッチング装置市場の現状と今後の展望について調査・分析しました。世界の乾式エッチング装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を掲載しています。
最新調査によると、世界の乾式エッチング装置市場規模は2024年のxxx百万ドルから2025年にはxxx百万ドルになると推定され、今後5年間の年平均成長率はxx%と予想されます。
乾式エッチング装置市場の種類別（By Type）のセグメントは、誘導結合プラズマ（ICP）、容量結合プラズマ（CCP）、反応性イオンエッチング（RIE）、深掘り反応性イオンエッチング（DRIE）、その他をカバーしており、用途別（By Application）のセグメントは、ロジック＆メモリ、MEMS、電源装置、その他をカバーしています。地域別セグメントは、北米、米国、カナダ、メキシコ、ヨーロッパ、ドイツ、イギリス、フランス、ロシア、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、乾式エッチング装置の市場規模を調査しました。
当資料に含まれる主要企業は、Lam Research、TEL、Applied Materials、…などがあり、各企業の乾式エッチング装置販売状況、製品・事業概要、市場シェアなどを掲載しています。
【目次】
世界の乾式エッチング装置市場概要（Global Dry Etching Equipment Market）
主要企業の動向
– Lam Research社の企業概要・製品概要
– Lam Research社の販売量・売上・価格・市場シェア
– Lam Research社の事業動向
– TEL社の企業概要・製品概要
– TEL社の販売量・売上・価格・市場シェア
– TEL社の事業動向
– Applied Materials社の企業概要・製品概要
– Applied Materials社の販売量・売上・価格・市場シェア
– Applied Materials社の事業動向
…
…
企業別売上及び市場シェア（～2024年）
世界の乾式エッチング装置市場（2020年～2030年）
– 種類別セグメント：誘導結合プラズマ（ICP）、容量結合プラズマ（CCP）、反応性イオンエッチング（RIE）、深掘り反応性イオンエッチング（DRIE）、その他
– 種類別市場規模（販売量・売上・価格）
– 用途別セグメント：ロジック＆メモリ、MEMS、電源装置、その他
– 用途別市場規模（販売量・売上・価格）
主要地域における乾式エッチング装置市場規模
北米の乾式エッチング装置市場（2020年～2030年）
– 北米の乾式エッチング装置市場：種類別
– 北米の乾式エッチング装置市場：用途別
– 米国の乾式エッチング装置市場規模
– カナダの乾式エッチング装置市場規模
– メキシコの乾式エッチング装置市場規模
ヨーロッパの乾式エッチング装置市場（2020年～2030年）
– ヨーロッパの乾式エッチング装置市場：種類別
– ヨーロッパの乾式エッチング装置市場：用途別
– ドイツの乾式エッチング装置市場規模
– イギリスの乾式エッチング装置市場規模
– フランスの乾式エッチング装置市場規模
アジア太平洋の乾式エッチング装置市場（2020年～2030年）
– アジア太平洋の乾式エッチング装置市場：種類別
– アジア太平洋の乾式エッチング装置市場：用途別
– 日本の乾式エッチング装置市場規模
– 中国の乾式エッチング装置市場規模
– インドの乾式エッチング装置市場規模
– 東南アジアの乾式エッチング装置市場規模
南米の乾式エッチング装置市場（2020年～2030年）
– 南米の乾式エッチング装置市場：種類別
– 南米の乾式エッチング装置市場：用途別
中東・アフリカの乾式エッチング装置市場（2020年～2030年）
– 中東・アフリカの乾式エッチング装置市場：種類別
– 中東・アフリカの乾式エッチング装置市場：用途別
乾式エッチング装置の流通チャネル分析
調査の結論