 | • レポートコード：MRC-SE-15870 • 発行年月：2025年07月 • レポート形態：英文PDF • 納品方法：Eメール（納期：2～3日） • 産業分類：Machinery & Equipment |
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※下記記載のレポート概要・目次・セグメント項目・企業名などは最新情報ではない可能性がありますので、ご購入の前にサンプルを依頼してご確認ください。
レポート概要
ドライエッチングシステムは、半導体製造やナノテクノロジーの分野で広く使用される技術であり、材料の表面を選択的に除去するためのプロセスです。この技術は、液体エッチングとは異なり、ガス状の化学物質を用いてエッチングを行います。ドライエッチングは、主にプラズマを利用しており、そのため、エッチングの精度が高く、微細なパターン形成が可能です。
ドライエッチングの特徴としては、まず高いエッチング精度が挙げられます。微細構造を形成するためには、数十ナノメートルの精度が必要とされますが、ドライエッチングはこの要求に応えることができます。また、エッチング速度が速く、製造効率を高めることができる点も魅力です。さらに、ドライエッチングは環境への影響が少ないため、クリーンルームでの使用が適しています。
ドライエッチングの種類には、主にプラズマエッチングと反応性イオンエッチング（RIE）が含まれます。プラズマエッチングは、プラズマを生成するために高周波の電力を使用し、イオンや中性粒子を生成して材料を削ります。一方、RIEは、イオンを材料に向かって加速することで、より高い方向性のエッチングが可能です。このため、RIEは垂直なエッチングを実現し、立体的な構造を形成するのに適しています。
ドライエッチングの用途は多岐にわたります。最も一般的な用途は、半導体デバイスの製造です。シリコンウエハ上に微細な回路パターンを形成するために、ドライエッチングが不可欠です。また、MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）や光学デバイスの製造にも使用されます。さらに、ドライエッチングは、薄膜太陽電池やセラミック材料の加工にも応用されています。
関連技術としては、ウェハ前処理や後処理が挙げられます。ドライエッチングを行う前に、ウェハ表面の清浄化が必要であり、化学的洗浄やプラズマクリーニングが行われます。また、エッチング後には、残留物の除去や表面の平滑化が求められます。このため、ドライエッチングと組み合わせて使用する洗浄技術や成膜技術も重要です。
ドライエッチングシステムは、技術の進化とともに、さらなる高精度化や高効率化が進んでおり、今後の半導体産業やナノテクノロジーの発展において重要な役割を果たすことが期待されています。これにより、次世代のデバイスや新しい材料の開発が進むでしょう。
ドライエッチングシステムの世界市場レポート（Global Dry Etch Systems Market）では、セグメント別市場規模、主要地域と国別市場規模、国内外の主要プレーヤーの動向と市場シェア、販売チャネルなどの項目について詳細な分析を行いました。
最新の調査によると、ドライエッチングシステムの世界市場規模は、2024年のxxx百万ドルから2025年にはxxx百万ドルとなり、2024年から2025年の間にxx％の変化があると推定されています。ドライエッチングシステムの世界市場規模は、今後5年間でxx％の年率で成長すると予測されています。
地域・国別分析では、北米、アメリカ、カナダ、メキシコ、ヨーロッパ、ドイツ、イギリス、フランス、ロシア、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどを対象にして、ドライエッチングシステムの市場規模を算出しました。
ドライエッチングシステム市場は、種類別には、反応性イオンエッチング（RIE）システム、深掘り反応性イオンエッチング（DRIE）システムに、用途別には、半導体産業、医療産業、電子＆マイクロエレクトロニクス、その他に区分してグローバルと主要地域における2020年～2030年の市場規模を調査・予測しました。
当レポートに含まれる主要企業は、ULVAC、Hitachi High-Technologies、Plasma-Therm、…などがあり、各企業のドライエッチングシステム販売量、売上、価格、市場シェアなどを分析しました。
【目次】
ドライエッチングシステム市場の概要（Global Dry Etch Systems Market）
主要企業の動向
– ULVAC社の企業概要・製品概要
– ULVAC社の販売量・売上・価格・市場シェア
– ULVAC社の事業動向
– Hitachi High-Technologies社の企業概要・製品概要
– Hitachi High-Technologies社の販売量・売上・価格・市場シェア
– Hitachi High-Technologies社の事業動向
– Plasma-Therm社の企業概要・製品概要
– Plasma-Therm社の販売量・売上・価格・市場シェア
– Plasma-Therm社の事業動向
…
…
企業別売上及び市場シェア（～2024年）
ドライエッチングシステムの世界市場（2020年～2030年）
– 種類別区分：反応性イオンエッチング（RIE）システム、深掘り反応性イオンエッチング（DRIE）システム
– 種類別市場規模（販売量・売上・価格）
– 用途別区分：半導体産業、医療産業、電子＆マイクロエレクトロニクス、その他
– 用途別市場規模（販売量・売上・価格）
ドライエッチングシステムの地域別市場分析
ドライエッチングシステムの北米市場（2020年～2030年）
– ドライエッチングシステムの北米市場：種類別
– ドライエッチングシステムの北米市場：用途別
– ドライエッチングシステムのアメリカ市場規模
– ドライエッチングシステムのカナダ市場規模
– ドライエッチングシステムのメキシコ市場規模
…
ドライエッチングシステムのヨーロッパ市場（2020年～2030年）
– ドライエッチングシステムのヨーロッパ市場：種類別
– ドライエッチングシステムのヨーロッパ市場：用途別
– ドライエッチングシステムのドイツ市場規模
– ドライエッチングシステムのイギリス市場規模
– ドライエッチングシステムのフランス市場規模
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ドライエッチングシステムのアジア市場（2020年～2030年）
– ドライエッチングシステムのアジア市場：種類別
– ドライエッチングシステムのアジア市場：用途別
– ドライエッチングシステムの日本市場規模
– ドライエッチングシステムの中国市場規模
– ドライエッチングシステムのインド市場規模
– ドライエッチングシステムの東南アジア市場規模
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ドライエッチングシステムの南米市場（2020年～2030年）
– ドライエッチングシステムの南米市場：種類別
– ドライエッチングシステムの南米市場：用途別
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ドライエッチングシステムの中東・アフリカ市場（2020年～2030年）
– ドライエッチングシステムの中東・アフリカ市場：種類別
– ドライエッチングシステムの中東・アフリカ市場：用途別
…
ドライエッチングシステムの販売チャネル分析
調査の結論